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　　高溫老化房是為了達到滿意的合格率，幾乎所有產品在出廠前都要先藉由老化。

　　在半導體業界，器件的老化問題一直存在各種爭論。像其它產品一樣，半導體隨時可能因為各種原因而出現故障，高溫老化房老化就是藉由讓半導體進行超負荷工作而使缺陷在短時間內出現，避免在使用早期發生故障。如果不藉由老化，很多半導體成品由于器件和制造制程復雜性等原因在使用中會產生很多問題。

　　在開始使用后的幾小時到幾天之內出現的缺陷稱為早期故障，老化之后的器件基本上要求100%消除由這段時間造成的故障。準確確定高溫老化房老化時間的唯一方法是參照以前收集到的高溫老化房老化故障及故障分析統計數據，而大多數生產廠商則希望減少或者取消老化。

　　高溫老化房老化制程必須要確保工廠的產品滿足用戶對可靠性的要求，除此之外，它還必須能提供工程數據，以便用來改進器件的性能。

　　對于高溫老化房的故障分析：

　　1、對制冷系統進行查漏，用檢漏儀和肥皂水相結合的方法檢查，發現一熱氣旁通電磁閥的閥桿裂了約1cm的細縫。更換此電磁閥，對系統重新充氟，系統運行正常。由于上文可以看出，對該故障現象的分析和判斷基本上是有易至難，先“外"后“里"，先“電氣"后“制冷"的脈絡進行分析和判斷的，熟悉和了解試驗箱的原理和工作過程是分析故障判斷故障的基礎。

　　2、未確定故障原因，結合試驗箱的控制過程進一步確認故障原因，該試驗箱擁有兩套制冷機組。一為主機組，另一為輔助機組，在降溫速率較大時，兩組機組同時工作，在溫度保持階段初期，兩組機組依然同時工作。待溫度初步穩定下來，輔助機組停止工作，由主機組來維持溫度的穩定。如果主機組R23泄露，會使主機組的制冷效果不大，由于降溫過程中，兩機組同時工作，故沒有溫度穩定不住的現象，而指示降溫速率降低。在溫度保持階段，一旦輔助機組停止工作，主機組又無制冷作用，試驗箱內的空氣就會緩慢上升，當溫度上升到一定程度，控制系統就會啟動輔助機組來降溫，將溫度下降至設定值(-55℃)附近，然后輔助機組又停止工作，如此反復，便會出現如圖3所示的故障現象。至此，已確認生產故障的原因是主機組的低溫(R23)級機組的制冷劑R23泄漏。

　　3、電氣系統沒有問題，繼續檢查制冷系統。首先檢查兩組制冷機組的低溫(R23)級壓縮機的排氣和吸氣壓力都較正常值偏低，而且吸氣壓力呈抽空狀態，說明主制冷機組的制冷劑量不足。用手摸主機組R23壓縮機的排氣和吸氣管路，發現排氣管路的溫度不高，吸氣管路的溫度也不低(未結霜)，這也說明了主機組的R23制冷劑缺乏，系統漏氟。

　　4、由于是溫度保持不住，觀察制冷壓縮機在試驗箱運行過程中是否能夠啟動，壓縮機在試驗箱運行過程中都能夠啟動，說明從主電源到各壓縮機的電器線路正常，電器系統方面也沒有問題。

　　5、高低溫試驗箱能過制冷，說明外部因素冷卻水的問題可以排除。